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SIERRA质量流量控制器

SEC-E50质量流量控制器

产品分类：SIERRA质量流量控制器

产品介绍

概要

它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号：SEC-405可以进行±0.5％F.S.的流量控制。

特征

可对应±0.5％F.S.：SEC-405(气体种类限定)
同系列产品，从0.1CCM至200SLM(N₂)都可进行流量控制
实现面间距离106mm: SEC-300型式

規格

SEC-310

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开； NC: 非通电时：关闭
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)

SEC-320

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(满量程)

SEC-405

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8
流量控制范围	2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±0.5％ F.S.(满量程)

SEC-410

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开；NC: 非通电时：关闭
标准流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围	5〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)

SEC-510

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开；NC: 非通电时：关闭
标准流量量程	10/20 SLM
流量控制范围	5〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)

SEC-510A

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开；NC: 非通电时：关闭
标准流量量程	30/50 SLM
流量控制范围	5〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)

SEC-520A

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	30/50 SLM
流量控制范围	5〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(满量程)

SEC-551

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开；NC: 非通电时：关闭
标准流量量程	30/50/100 SLM
流量控制范围	5〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)

SEC-552

气体接触部材质	SUS-316、バイトン
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	30/50/100 SLM
流量控制范围	5〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(满量程)

SEC-610

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	50/100/150 SLM
流量控制范围	10〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)

SEC-620

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	50/100/150 SLM
流量控制范围	10〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(满量程)

SEC-623

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	150/200 SLM (H2:300 SLM)
流量控制范围	10〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(满量程)

SEC-400MK2

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围	5〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(满量程)

SEC-500MK2

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20 SLM
流量控制范围	5〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(满量程)

SEC-400MK3

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空气.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范围	5〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(满量程)

SEC-500MK3

气体接触部材质	SUS-316、氟化橡胶
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20 SLM ：空气.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范围	5〜100％ F.S.(满量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(满量程)

D212 D214压力钝感质量流量计

SEC-N112 数字式质量流量控制器

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