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产品分类:MKS质量流量控制器
1480A_数字金属密封质量流量控制器
数字式;
流量范围:10-30000 sccm;
最大进气压力:150 psig;
考验压力:1000 psig;
精度:±1% of Setpoint for 20 to 100% F.S.;0.2% of F.S. for <20% of Reading;
阀门类型:
阀门常开;
阀门常闭
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