开云（中国）Kaiyun·官方网站,Kaiyun科技股份有限公司

公司简介 | 新闻动态 | 公司文化 | 在线咨询 | 联系我们
头部Logo
您的位置：网站开云（中国）Kaiyun·官方网站,Kaiyun科技股份有限公司 » 产品中心 » HORIBA质量流量控制器
HORIBA质量流量控制器

SEC-E400J质量流量控制器

产品分类：HORIBA质量流量控制器
产品介绍

 

概要
作为提高生产的必要因素、制造设备的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到关注。这些要求对气体供给系统，也就是被称为关键设备的质量流量控制器来说有很紧密的联系。而批量使用搭载了在成本表现方面优势明显的电磁阀的质量流量控制器，则可完全符合制程要求。 
特征
  • 采用金属避风垫圈
可对应腐蚀性气体
  • 搭载异常报警功能
警报输出功能为其标准搭载

規格

・SEC-E400J

 

气体连接部材質

SUS-316L,Teflon

磁性不锈钢材质阀形式

非通電時:闭标准

流量范围

5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM

流量控制范围

2〜100％ F.S.(全量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(全量程)

・SEC-E450J

 

气体连接部材質

SUS-316L,Teflon

磁性不锈钢材质阀形式

非通電時:闭标准

流量范围

20/30 SLM

流量控制范围

2〜100％ F.S.(全量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(全量程)
上一个 SEC-8000 高温质量流量控制器
 
返回上页 返回上页
 
返回顶部 返回顶部
 
SEC-8000F高温质量流量控制器 下一个
友情链接
网站ICP备案号：

开云（中国）Kaiyun·官方网站,Kaiyun科技股份有限公司 Copyright © 2013 All right reserved 版权所有

技术支持： |  |